- 采用膜紋理控制技術(shù)
- 應(yīng)用材料為PZT類高介電體Sol-gel液
- 高介電體材料可延長(zhǎng)薄膜電容器壽命
三菱材料開發(fā)出了可延長(zhǎng)薄膜電容器壽命的高介電體材料。該公司稱，通過(guò)改進(jìn)材料成分及膜紋理控制技術(shù)，在高溫高壓下的加速壽命試驗(yàn)中實(shí)現(xiàn)了十?dāng)?shù)倍于現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的壽命。
新開發(fā)的材料為鋯鈦酸鉛（PZT）類高介電體溶膠凝膠（Sol-gel）液。該公司目前在生產(chǎn)并銷售濕式工藝（溶膠凝膠法）薄膜電容器用PZT類高介電體溶膠凝膠液。此次對(duì)現(xiàn)有的這種材料作了改進(jìn)。溶膠凝膠法，是在基板上涂布有機(jī)金屬化合物溶液（溶膠液），使之干燥形成凝膠膜（膠狀固體），并將其燒結(jié)，以在基板上獲得金屬氧化物膜的成膜方法。能以低于一般真空工藝（真空蒸鍍法等）的成本制造。
