圖一，IDT公司4H系列MEMS振蕩器具有業(yè)界最低的相位抖動(dòng)

 4H系列MEMS 振蕩器性能

與以往的MEMS振蕩器相比，IDT的4H系列MEMS有其獨(dú)特的差異化性能。IDT 的 4H 系列 MEMS 振蕩器擁有一個(gè)差分的 LVDS / LVPECL 輸出，和相比同級(jí)別產(chǎn)品最低的相位抖動(dòng)（100 fs @ 1.875 – 20 MHZ和亞 300 fs @ 12 KHZ – 20MHZ），能夠滿足高性能網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用對(duì)低抖動(dòng)芯片組的需要。同時(shí)，器件中還集成的頻率裕量 (frequency margining) 設(shè)定功能，能夠使客戶在應(yīng)用操作中能夠?qū)⒄袷幤黝l率微調(diào)至 ±1000 ppm，實(shí)現(xiàn)誤碼率最小并便于裕量測(cè)試。這一技術(shù)使得時(shí)鐘系統(tǒng)處在一個(gè)稍微更高的頻率，允許 OEM 廠商降低誤碼率，并能減少網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用的封裝損失。與只提供固定頻率的競(jìng)爭(zhēng)性 MEMS 器件不同，IDT 的器件允許數(shù)以百計(jì)的偏頻，它們會(huì)在達(dá)到 625 兆赫的任何基礎(chǔ)頻率選擇之后 —— 甚至在最終生產(chǎn)系統(tǒng)中產(chǎn)生。這使得設(shè)計(jì)人員能夠加快開發(fā)進(jìn)程和優(yōu)化系統(tǒng)性能。

IDT公司MEMS部門總經(jīng)理Harmeet Bhugra介紹說，4H MEMS 振蕩器的高可靠性，來自于 IDT 專利的壓電 MEMS (pMEMS) 諧振器技術(shù)，該技術(shù)可確保提供高可靠性的高頻率源，這使得IDT MEMS 振蕩器的可靠性可優(yōu)于傳統(tǒng)的石英振蕩器 40 倍，且無擾動(dòng)、無零時(shí)故障、對(duì)電磁干擾 (EMI) 有更高抖動(dòng)阻力，并具有出色的抗沖擊和抗振性。

4H系列MEMS 振蕩器的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)

在談到4H系列MEMS振蕩器在應(yīng)用中給客戶帶來的價(jià)值時(shí)，Harmeet Bhugra表示，這款產(chǎn)品事實(shí)上可以解決很多客戶的痛點(diǎn)，因?yàn)樗哂懈偷南辔欢秳?dòng)，很多廠商是希望有更低的比特誤差率，因?yàn)楦偷南辔欢秳?dòng)意味著更低的比特誤差率。同時(shí)， PPM頻率裕量的設(shè)定功能，可以生成或者改變成千上萬偏置的頻率，即使在最后的生產(chǎn)系統(tǒng)當(dāng)中也可以做到這一點(diǎn)，這個(gè)功能也可以讓客戶來監(jiān)測(cè)誤碼率，之后通過對(duì)PPM進(jìn)行調(diào)整，來實(shí)時(shí)的調(diào)諧。4H系列MEMS振蕩器第三個(gè)優(yōu)勢(shì)是可靠性提升，它的可靠性相比于傳統(tǒng)的石英的振蕩器有40倍的提高。最后，采用該器件，可以使得客戶成本有很大的節(jié)約，由于采用了小尺寸的3.2×2.5QFN封裝，可以給設(shè)計(jì)人員節(jié)省更多的電路板的空間。
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4H系列MEMS 振蕩器的行業(yè)評(píng)價(jià)

IDT 公司副總裁兼計(jì)時(shí)與同步部門總經(jīng)理 Christian Kermarrec 表示：“IDT 最新的MEMS 系列構(gòu)建于標(biāo)準(zhǔn)的 4M 和升級(jí)的 4E 振蕩器系列基礎(chǔ)上，滿足萬兆以太網(wǎng)和網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用對(duì)高性能的要求。作為計(jì)時(shí)解決方案的領(lǐng)導(dǎo)廠商，我們?yōu)榭蛻籼峁┳罡咝阅懿考蛣?chuàng)新特性，以便于他們進(jìn)行下一代產(chǎn)品開發(fā)。我們很高興看到很多 OEM 廠商越過 MEMS 起步型提供商而選擇 IDT，這正是由于 IDT 所能提供的經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)創(chuàng)新。”

HIS 公司 MEMS 與傳感器部門總監(jiān)和首席分析師 Jérémie Bouchaud 表示：“云計(jì)算和存儲(chǔ)架構(gòu)正在快速發(fā)展，幾乎 50% 的服務(wù)器和存儲(chǔ)簇隨著萬兆以太網(wǎng)而出貨。高性能MEMS 振蕩器能使企業(yè)級(jí)計(jì)算和存儲(chǔ)架構(gòu)的誤碼率更低，并能同時(shí)提供更好的可靠性。”

4H系列MEMS振蕩器產(chǎn)品路線圖

4H系列是IDT公司在MEMS振蕩器產(chǎn)品線上的迄今為止性能最高的一款產(chǎn)品。2012年5月，IDT推出了4M MEMS振蕩器的產(chǎn)品系列，4M的MEMS振蕩系列抖動(dòng)不到1pm，它是一個(gè)引腳兼容的產(chǎn)品，現(xiàn)在已經(jīng)進(jìn)行了全面的生產(chǎn)。在2013年初，IDT推出了增強(qiáng)型的，或者叫做升級(jí)版的4E振蕩器系列，它支持多種輸出模式，有四個(gè)頻率可供選擇，也就是說可以用一個(gè)單個(gè)的4E的振蕩器可以取代4個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的振蕩器。而最新推出的4H  MEMS振蕩器系列，它是具有全球最低抖動(dòng)的MEMS振蕩器，很適合10G以太網(wǎng)，以及40G以太網(wǎng)的應(yīng)用。

4H系列MEMS振蕩器供貨

IDT 的 4H MEMS 振動(dòng)器適用于多種封裝尺寸，包括更小的 3225(3.2 x 2.5 mm)，以節(jié)省密集部署應(yīng)用中的板空間和成本。IDT 4H MEMS 振蕩器目前處于客戶送樣階段，采用標(biāo)準(zhǔn)的 7.0 x 5.0 mm, 5.0 x 3.2mm 和3.2 x 2.5mm VFQFPN封裝。器件可用大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)頻率，自定義頻率可根據(jù)要求進(jìn)行配置。

延伸閱讀：MEMS振蕩器與石英振蕩器比較

MEMS振蕩器以其突出的特性，被認(rèn)為是傳統(tǒng)的石英振蕩器的替代產(chǎn)品。

石英振蕩器一般制造的方式及其缺點(diǎn)： 

1.一般而言，石英廠商所做的工作為石英切割、與日系廠商購(gòu)買基座、起振芯片；將石英以及芯片以特殊黏膠結(jié)合后至于基座上，并進(jìn)行填充氮?dú)饷芊?。?shù)十道繁復(fù)工序；且需要大量人工參與量產(chǎn)制造、質(zhì)量管理。絕大部分石英廠商常見或偶見廠內(nèi)生產(chǎn)控管不良造成之產(chǎn)品污染、密封不良造成漏氣（使頻率偏離規(guī)格）等不良現(xiàn)像。  

2.不同頻率震蕩器；廠商需對(duì)石英做不同方式的切割、不同頻率起振的方式也需搭配不同的芯片，支持的電壓不同、或者需要的抖動(dòng)（ jitter）、精度規(guī)格不同，震蕩器內(nèi)部搭配的起振芯片均不同。

所有石英廠商建廠后，除非增加生產(chǎn)線，否則生產(chǎn)產(chǎn)能固定；供貨有限。所有石英廠無法針對(duì)所有規(guī)格的震蕩器準(zhǔn)備生產(chǎn)線或具備生產(chǎn)規(guī)模；因此一般而言；個(gè)別廠商僅針對(duì)某些規(guī)格產(chǎn)品生產(chǎn)，造成系統(tǒng)廠商客戶不可能采用“OneStop Shopping”的采購(gòu)目標(biāo)。即使系統(tǒng)廠商目標(biāo)是縮減同類型產(chǎn)品的供應(yīng)商，但由于石英產(chǎn)品的特殊性，以及其生產(chǎn)工藝上的限制，廠商的目標(biāo)如果停留在僅對(duì)現(xiàn)有石英供應(yīng)商之間采購(gòu)，絕無法達(dá)成；而 SIT IME的全硅可編程震蕩器，從設(shè)計(jì)、生產(chǎn)上的根本性變革，具備提供廠商 “One Stop Shopping”的條件。   由于不可能為客戶廠商不同需求震蕩器備料齊全，石英廠商間普遍存在同業(yè)調(diào)貨狀況，即不同石英生產(chǎn)廠商透過同一品牌交貨給系統(tǒng)廠商，調(diào)貨交貨也意味著質(zhì)量控管的空窗。因此一些系統(tǒng)廠商嚴(yán)明規(guī)定合作石英廠商不得有調(diào)貨供貨狀況；以避免此無法控制之質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)。  
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3.石英產(chǎn)品的頻率精度與溫度關(guān)系非線性關(guān)系（或稱溫飄；一般為向下拋物線）。一般石英產(chǎn)品規(guī)格書上標(biāo)示的頻率穩(wěn)定度（或精度）；一般為在 25℃室溫；除此之外，還有所謂”溫飄”。由于其非線性的關(guān)系，系統(tǒng)廠商在實(shí)驗(yàn)室測(cè)試內(nèi)測(cè)試的精度，甚或利用高低溫測(cè)試到的石英震蕩器規(guī)格，并無法保證石英廠商在量產(chǎn)交貨階段所交付廠商的元件均能符合其要求的規(guī)格。   由于非線性石英對(duì)溫度的特性，使得石英產(chǎn)品在物料進(jìn)廠檢驗(yàn)時(shí)變得無所依據(jù)，直到上線測(cè)試，才有機(jī)會(huì)判斷來料的質(zhì)量。   有時(shí)候因?yàn)槭⒃系牟涣?，在系統(tǒng)廠商 SMD過程中經(jīng)過回流銲（無鉛制程高達(dá) 26 0℃）制程時(shí)，也會(huì)對(duì)石英造成質(zhì)變，使得震蕩器的頻率產(chǎn)生偏移。 

4.石英產(chǎn)品的防震性不良。石英本身易碎、怕摔。石英與起振芯片結(jié)合時(shí)所采用的點(diǎn)膠方式，以及使用的材質(zhì)均會(huì)對(duì)震蕩器封裝的穩(wěn)定性、一致性具有一定的影響。防震性不良，造成貨運(yùn)過程可能有到貨不良 (DOA–defectofarrival)、SMT打件損耗等。  

5.石英產(chǎn)品密封不易保證；造成頻率偏差。石英切割后需鍍上水銀，其整體厚度決定了起振的頻率。封裝時(shí)需將內(nèi)部以氮?dú)馓畛?，保持與空氣隔絕以避免內(nèi)部材質(zhì)氧化，造成頻率改變?；蛞蚍庋b不良、或因震動(dòng)；均可能對(duì)外觀密封質(zhì)量改變，即所謂漏氣。一般漏氣可能發(fā)生在石英廠出廠前的檢測(cè)；或到系統(tǒng)廠后生產(chǎn)完成測(cè)試發(fā)現(xiàn)頻率偏移、或系統(tǒng)廠商生產(chǎn)測(cè)試完成出貨后在客戶端發(fā)生不良。（類舉：如輪胎被釘子刺穿后，泄氣時(shí)間不等）  

6.石英產(chǎn)品交貨周期長(zhǎng)。由于生產(chǎn)所需原料需來自于不同供應(yīng)商；包括芯片廠、基座廠商、石英晶棒廠商，以及廠內(nèi)的切割設(shè)備、生產(chǎn)員工等資源均會(huì)影響交貨周期。一般而言，在廠內(nèi)以及、銷售渠道無庫(kù)存狀況下，交貨周期由 6 ~12周。而一般非常用、大量生產(chǎn)之產(chǎn)品，其訂貨周期長(zhǎng)達(dá)8～ 16周。交貨周期不定：由于生產(chǎn)工序復(fù)雜；任何一道工序產(chǎn)生錯(cuò)誤，該批生產(chǎn)均需從頭來過；造成交期重置。 

MEMS振蕩器的制造方式及其優(yōu)點(diǎn)：

1. MEMS振蕩器是由兩顆芯片；一為全硅 MEMS諧振器，一為具溫補(bǔ)功能之啟動(dòng)電路暨鎖相環(huán) CMOS 芯片；利用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體芯片 M CM封裝方式完成。 
2. MEMS生產(chǎn)制程，采全自動(dòng)化標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體制造流程；與生產(chǎn)線上人工素質(zhì)無關(guān)。如所有今日在所有電子產(chǎn)品設(shè)計(jì)內(nèi)所使用的 IC一般；具備優(yōu)良的穩(wěn)定性以及質(zhì)量；不易在生產(chǎn)過程中出現(xiàn)人為失誤。 
3. 支持頻率、精度、電壓可編程；可滿足客戶不同規(guī)格組合之震蕩器需求。 
4. 支持所有業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)封裝 (7050, 5032, 3225, 2520)，所有規(guī)格產(chǎn)品交貨期僅需 2~4周。 
5. MEMS振蕩器封裝無密封問題，標(biāo)準(zhǔn) MCM封裝，防震性達(dá)石英產(chǎn)品的 25倍。出貨不良率低于1 dppm。 
6. MEMS振蕩器內(nèi)部起振鎖相環(huán)芯片，具備溫補(bǔ)功能；頻率精度相對(duì)于溫度的變化為線性關(guān)系，規(guī)格所標(biāo)示的頻率精度涵蓋震動(dòng)頻偏、溫度頻偏、老化頻偏等。 
7. MEMS產(chǎn)品之質(zhì)量一致性乃透過設(shè)計(jì)階段完成；與石英產(chǎn)品在量產(chǎn)階段控制質(zhì)量之制造控管方式不同，系統(tǒng)廠商無須擔(dān)心來料與量產(chǎn)樣品認(rèn)證之不一致性。


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