
日本開發(fā)出可望替代藍(lán)色LED基板的2英寸SCAM晶體
發(fā)布時(shí)間:2014-08-19 責(zé)任編輯:echotang
【導(dǎo)讀】:SCAM更適合減少GaN類半導(dǎo)體的結(jié)晶缺陷,因此有望提高發(fā)光元件的亮度。SCAM的特點(diǎn)是與GaN的晶格失配度僅1.8%,不容易產(chǎn)生晶格位錯(cuò)這種結(jié)晶缺陷。
日本福田結(jié)晶技術(shù)研究所成功試制出了口徑為50mm(2英寸)的ScAlMgO4(SCAM)晶體。設(shè)想用于藍(lán)色LED元件及藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光器等GaN類發(fā)光元件的基板。與制造藍(lán)色LED元件的基板大多使用的藍(lán)寶石相比,SCAM更適合減少GaN類半導(dǎo)體的結(jié)晶缺陷,因此有望提高發(fā)光元件的亮度。據(jù)該研究所介紹,日本東北大學(xué)金屬材料研究所松岡隆志教授的研究小組利用試制品層疊GaN類半導(dǎo)體設(shè)計(jì)了LED,證實(shí)了該材料的有用性。
SCAM的特點(diǎn)是與GaN的晶格失配度僅1.8%,不容易產(chǎn)生晶格位錯(cuò)這種結(jié)晶缺陷。雖然以前業(yè)內(nèi)認(rèn)為很難制作SCAM晶體,但福田結(jié)晶技術(shù)研究所采用CZ法試制成功了2英寸的高品質(zhì)SCAM晶體。據(jù)該研究所介紹,通過改善晶體生長的條件和晶體生長爐的結(jié)構(gòu),提高了結(jié)晶品質(zhì)。該研究所劈開試制出的SCAM晶體,利用X射線衍射法評估了其C面,結(jié)果發(fā)現(xiàn)其半幅值為12.9秒,結(jié)晶品質(zhì)跟Si的完全結(jié)晶相當(dāng)。

另外,該研究所不用切割和研磨加工工藝,而是利用SCAM晶體塊通過劈開加工做成了晶圓。此舉可降低晶圓的成本。利用有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法使GaN薄膜在1040℃下垂直于SCAM晶體的劈開面生長,結(jié)果獲得了鏡面的低位錯(cuò)晶體。這也是一大成果。
福田結(jié)晶技術(shù)研究所今后將設(shè)法繼續(xù)增大SCAM晶體的口徑,還將對其進(jìn)行商業(yè)化運(yùn)作。福田結(jié)晶技術(shù)研究所將于2015年春季開始銷售2英寸的SCAM基板。
特別推薦
- 差分振蕩器設(shè)計(jì)的進(jìn)階之路:性能瓶頸突破秘籍
- 電感技術(shù)全景解析:從基礎(chǔ)原理到國際大廠選型策略
- 線繞電感技術(shù)全景:從電磁原理到成本革命
- 新思科技:通過EDA和IP助力中國RISC-V發(fā)展
- 安謀科技CEO陳鋒:立足全球標(biāo)準(zhǔn)與本土創(chuàng)新,賦能AI計(jì)算“芯”時(shí)代
技術(shù)文章更多>>
- 雙展共振:SEMI-e深圳國際半導(dǎo)體展智啟未來產(chǎn)業(yè)新生態(tài)
- 高頻、高溫、高可靠:片狀電感的三重突破與選型密碼
- 9.5億美金落子!意法半導(dǎo)體收購恩智浦MEMS劍指汽車安全市場
- 意法半導(dǎo)體公布2025年第二季度財(cái)報(bào)
- 360采購幫開店流程詳解:解鎖AI廠長分身,實(shí)現(xiàn)7×24小時(shí)獲客
技術(shù)白皮書下載更多>>
- 車規(guī)與基于V2X的車輛協(xié)同主動避撞技術(shù)展望
- 數(shù)字隔離助力新能源汽車安全隔離的新挑戰(zhàn)
- 汽車模塊拋負(fù)載的解決方案
- 車用連接器的安全創(chuàng)新應(yīng)用
- Melexis Actuators Business Unit
- Position / Current Sensors - Triaxis Hall
熱門搜索
SII
SIM卡連接器
SMT設(shè)備
SMU
SOC
SPANSION
SRAM
SSD
ST
ST-ERICSSON
Sunlord
SynQor
s端子線
Taiyo Yuden
TDK-EPC
TD-SCDMA功放
TD-SCDMA基帶
TE
Tektronix
Thunderbolt
TI
TOREX
TTI
TVS
UPS電源
USB3.0
USB 3.0主控芯片
USB傳輸速度
usb存儲器
USB連接器