機(jī)遇與挑戰(zhàn)：

• MEMS技術(shù)用于國(guó)防的潛在機(jī)會(huì)包括航空動(dòng)力、機(jī)動(dòng)性、隱身、傳感、發(fā)電和管理、智能結(jié)構(gòu)和材料

市場(chǎng)數(shù)據(jù)：

• 用于航天、國(guó)防和國(guó)土安全的MEMS市場(chǎng)份額將從2005年的1億美元翻番，達(dá)到2009年的2.65億美元
• 2009年，慣性傳感器將維持其市場(chǎng)份額的50%
• 射頻MEMS將進(jìn)入組裝線生產(chǎn)，并將占據(jù)MEMS防務(wù)市場(chǎng)的四分之一

據(jù)德國(guó)慕尼黑的一家市場(chǎng)資訊公司W(wǎng)icht Technologie Consulting (WTC)的分析家們預(yù)計(jì)，用于航天、國(guó)防和國(guó)土安全的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的市場(chǎng)份額將從2005年的1億美元翻番，達(dá)到2009年的2.65億美元。

 

WTC的專(zhuān)家們指出，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)用于國(guó)防的潛在機(jī)會(huì)包括航空動(dòng)力、機(jī)動(dòng)性、隱身、傳感、發(fā)電和管理、智能結(jié)構(gòu)和材料。

 

迄今為止，MEMS在國(guó)防上最確定的應(yīng)用是用于武器、制導(dǎo)、導(dǎo)航和穩(wěn)定的慣性測(cè)量設(shè)備。2005年，武器制導(dǎo)用的慣性傳感器主要是加速度計(jì)和陀螺儀，占據(jù)MEMS防務(wù)市場(chǎng)的一半。

 

用于諸如野外、營(yíng)地監(jiān)控和炮兵的微型測(cè)輻射熱儀的紅外傳感器也已在防務(wù)市場(chǎng)中得到確立。MEMS壓力傳感器也常見(jiàn)用于飛行控制設(shè)備或者用于監(jiān)控飛機(jī)機(jī)艙壓力和液壓設(shè)備。

 

2009年，慣性傳感器將維持其市場(chǎng)份額的50%，并將在戰(zhàn)場(chǎng)上用于諸如士兵的慣性測(cè)量設(shè)備。主要品種將涉及射頻MEMS，射頻MEMS將進(jìn)入組裝線生產(chǎn)，并將占據(jù)MEMS防務(wù)市場(chǎng)的四分之一，主要用于相控陣?yán)走_(dá)天線。

 

WTC的分析家們稱(chēng)，除了生產(chǎn)數(shù)百萬(wàn)套的智能彈藥以外，航天、國(guó)防和國(guó)土安全市場(chǎng)相對(duì)于民用市場(chǎng)的用量一般都較小。其結(jié)果，如果可能，盡量避免國(guó)防專(zhuān)用MEMS的研制，所謂兩用MEMS的研制得到青睞，這一發(fā)展有益于國(guó)防和航天應(yīng)用以及大規(guī)模的民用市場(chǎng)。

 

這一趨勢(shì)的一個(gè)例子包括諸如DARPA（高級(jí)研究項(xiàng)目局）資助的惠普公司項(xiàng)目，研制基于MEMS、也可以大量應(yīng)用于民用市場(chǎng)的數(shù)據(jù)貯存設(shè)備。另一個(gè)例子涉及到BAE設(shè)備公司將其為軍用市場(chǎng)研制的MEMS陀螺儀轉(zhuǎn)為用于汽車(chē)工業(yè)，這是通過(guò)與Sumitomo精密儀器公司合資建立硅感應(yīng)設(shè)備公司而實(shí)現(xiàn)的。

 

然而，WTC的專(zhuān)家稱(chēng)，國(guó)防市場(chǎng)的特殊性正在限制兩用MEMS的發(fā)展。在軍用設(shè)備的背景下，這種設(shè)備的性能必須滿足這類(lèi)應(yīng)用中的嚴(yán)格規(guī)范和環(huán)境條件。一般而言，工作和環(huán)境要求將包括對(duì)輻射、高溫的適應(yīng)力（包括超過(guò)150℃的陡峭循環(huán)）、振動(dòng)和沖擊（高達(dá)100000G）以及電磁兼容性。

（中電科40所黃正譯自Military & Aerospace Electronics）