- 滿(mǎn)量程輸出范圍為100kPa
- 可同時(shí)兼容開(kāi)環(huán)和閉環(huán)橋臂兩種應(yīng)用
- 量程為15PSI的高度表
繼推出硅基MEMS麥克風(fēng)芯片后,蘇州敏芯微電子技術(shù)有限公司(MEMSensing Microsystems Co., Ltd.)日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS絕對(duì)壓力傳感器芯片,主要針對(duì)量程為15PSI的高度表市場(chǎng),并已開(kāi)始提供樣品。
據(jù)敏芯微電子介紹,其MEMS壓力傳感器芯片典型滿(mǎn)量程輸出范圍為100kPa,在加載電壓5V的情況下,滿(mǎn)量程靈敏度為100mV,橋臂電阻典型值為5k歐姆,零位輸出在+-30mV之間,靈敏度溫度系數(shù)為-19%FS/100度。敏芯微電子稱(chēng),其在國(guó)內(nèi)率先獨(dú)家推出的MEMS絕對(duì)壓力傳感器芯片,可同時(shí)兼容開(kāi)環(huán)和閉環(huán)橋臂兩種應(yīng)用,極大方便了客戶(hù)使用。
目前,敏芯微電子可以芯片或晶圓的形式向客戶(hù)供貨,初期將供應(yīng)基于4寸晶圓的芯片,外形尺寸為1.4mm×1.4mm×0.7mm之版本。今后,為滿(mǎn)足部分客戶(hù)對(duì)芯片超薄尺寸的要求,也將提供芯片外形尺寸為1.4mm×1.4mm×0.5mm之版本。
敏芯微電子還將陸續(xù)推出其它量程的產(chǎn)品來(lái)滿(mǎn)足不同客戶(hù)之需求,預(yù)計(jì)將于2010年初提供滿(mǎn)量程范圍為100PSI及300PSI之產(chǎn)品,此系列之產(chǎn)品將進(jìn)一步縮小芯片體積,設(shè)計(jì)外形尺寸為1.1mm*1.1mm*0.7mm。同時(shí),公司也可根據(jù)客戶(hù)需求來(lái)定制MEMS壓力傳感器芯片,來(lái)滿(mǎn)足某些特種需求。