- 壓力傳感器行業(yè)加快了壓阻式替代步伐
- MEMS技術逐步成為產(chǎn)業(yè)化技術主流
隨著測量技術的飛速發(fā)展，對傳感器提出了更高的要求，尤其在高精度的流體動力學測試中，要求傳感器具有良好的動態(tài)特性。為了不影響流場狀態(tài)，提高測量的精度，還需壓力傳感器具有極小和極薄的外形，傳感器的尺寸漸趨小型化。近二十年來，壓力傳感器行業(yè)明顯加快了壓阻式替代淘汰應變式、厚膜陶瓷式壓力傳感器的步伐，MEMS（Micro electronic mechanical systems微機電系統(tǒng)）技術逐步成為產(chǎn)業(yè)化技術主流。
受自身技術條件限制， 國內(nèi)大多數(shù)壓力傳感器企業(yè)多把國內(nèi)外產(chǎn)硅MEMS OEM產(chǎn)品作為壓力傳感器的關鍵部件，組裝后再行銷售，進入行業(yè)的門檻較低，資金運轉快。但對有高難度要求的高檔傳感器，企業(yè)既買不到相應的硅MEMS OEM產(chǎn)品，又不具備相應設計與特殊制作技術，因此基本無法進入這一細分市場。昆山雙橋傳感器測控技術有限公司充分利用其技術積累，從核心元件關鍵技術做起，基于MEMS微機械加工技術，自行研制的微型動態(tài)壓阻壓力傳感器能確保力敏硅膜片有效尺寸更小，固有頻率更高；此外，利用硅優(yōu)良的彈性力學特性，尤其是極高的楊氏彈性模量，加之低的電橋內(nèi)阻抗，不僅利于獲得高頻響，而且有低至亞微秒的上升時間及非常干凈的幅頻特性曲線，可廣泛應用于要求傳感器尺寸小、對測試流場影響小、動態(tài)特性好的空氣動力學研究、風洞測控試驗等高端應用領域。微型壓力傳感器產(chǎn)品在雙橋傳感器公司已形成系列化，主要產(chǎn)品有Ф2mm、Ф3mm、Ф5mm、Ф8mm，涵蓋了對水、氣、油等多種介質的測量。該產(chǎn)品因技術領先性已經(jīng)榮獲2010年度中國電子學會電子信息科學技術獎三等獎。
汽車電子、新型數(shù)字消費電子和醫(yī)療電子等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對MEMS傳感器的各種新需求和基于該技術的創(chuàng)新不斷涌現(xiàn)，MEMS傳感器的市場機會逐步顯現(xiàn)。昆山雙橋傳感器測控技術有限公司的基于MEMS技術的汽車壓力傳感器已批量應用于汽車電子產(chǎn)業(yè)。
