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國(guó)機(jī)集團(tuán)“高性能硅電容壓力傳感器”項(xiàng)目填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白

發(fā)布時(shí)間:2011-08-23 來(lái)源:國(guó)際電力網(wǎng)

產(chǎn)品特性:

  • 采用先進(jìn)的微電子和微機(jī)械加工相結(jié)合的工藝技術(shù)
  • 產(chǎn)品精度優(yōu)于0.075%FS

應(yīng)用范圍:

  • 帶動(dòng)了傳感器、變送器及相關(guān)儀表產(chǎn)業(yè)的發(fā)展


國(guó)機(jī)集團(tuán)所屬沈陽(yáng)儀表院承擔(dān)的沈陽(yáng)市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展計(jì)劃項(xiàng)目“高性能硅電容壓力傳感器”近日順利通過(guò)驗(yàn)收。

該項(xiàng)目采用先進(jìn)的微電子和微機(jī)械加工相結(jié)合的工藝技術(shù),在硅電容傳感器設(shè)計(jì)、制造工藝技術(shù)、傳感器封裝結(jié)構(gòu)等方面具有創(chuàng)新性,解決了硅電容傳感器研制的工藝技術(shù)難題,開(kāi)發(fā)研制出完全擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新型高性能硅電容差壓傳感器產(chǎn)品,產(chǎn)品精度優(yōu)于0.075%FS,技術(shù)水平達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際一流。

項(xiàng)目建成了年生產(chǎn)能力一萬(wàn)臺(tái)的硅電容差壓傳感器生產(chǎn)線,實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的系列化生產(chǎn),并首次實(shí)現(xiàn)智能變送器產(chǎn)品核心傳感器的國(guó)產(chǎn)化配套,打破了國(guó)外的技術(shù)封鎖,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。同時(shí),作為上游核心器件,該項(xiàng)研究帶動(dòng)了傳感器、變送器及相關(guān)儀表產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,解決了有表無(wú)芯的問(wèn)題,有效地支撐了高端裝備制造產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)。

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