MEMS傳感器的市場(chǎng)機(jī)遇和挑戰(zhàn):
- MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器實(shí)現(xiàn)人機(jī)即時(shí)互動(dòng)
- MEMS傳感器實(shí)現(xiàn)資料保護(hù)
- 壓力傳感器滿足全量程和高分辨率
- 意法半導(dǎo)體欲制造超小型壓力傳感器
MEMS傳感器的市場(chǎng)數(shù)據(jù):
- 意法半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)線月產(chǎn)能10,000片
- 意法半導(dǎo)體MEMS芯片日產(chǎn)能超過100萬
MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器為手機(jī)、MP3/MP4播放器、PDA或游戲機(jī)帶來更直觀的人機(jī)界面,把用戶手腕、手臂和手的動(dòng)作與應(yīng)用程式、頁面內(nèi)部及頁面之間的瀏覽、游戲機(jī)中的人物動(dòng)作等功能連接起來,實(shí)現(xiàn)真正的人機(jī)即時(shí)互動(dòng)。
資料保護(hù)是MEMS傳感器在便攜設(shè)備中的另一種應(yīng)用。當(dāng)出現(xiàn)自由落體或者其它異常動(dòng)作時(shí),MEMS加速度計(jì)可即刻停止系統(tǒng)上全部硬盤驅(qū)動(dòng)器(HDD)的讀寫操作,并且將硬盤驅(qū)動(dòng)器上的讀寫頭固定到安全位置。此外,MEMS加速度計(jì)也廣泛用于整合洗衣機(jī)或干衣機(jī)等家電中,可作為振動(dòng)檢測(cè)器,用于穩(wěn)定失衡的負(fù)荷,以防止機(jī)器產(chǎn)生過多不必要的磨損故障。
MEMS陀螺儀、角運(yùn)動(dòng)傳感器、用于人機(jī)界面的輔助加速度傳感器,為游戲機(jī)和遙控器帶來更生動(dòng)的用戶體驗(yàn)。陀螺儀可以提高數(shù)字?jǐn)z像機(jī)和數(shù)碼相機(jī)的影像與照片清晰度,提升汽車導(dǎo)航系統(tǒng)的航位推算和/或地圖匹配性能。由于在建筑物內(nèi)或高樓林立的市區(qū),通常沒有GPS信號(hào),航位推算系統(tǒng)可通過監(jiān)測(cè)動(dòng)作、行駛距離和緯度,修正數(shù)字羅盤的讀數(shù),為用戶不間斷地提供準(zhǔn)確的導(dǎo)航資訊。
壓力傳感器可滿足應(yīng)用對(duì)全量程和高分辨率的要求:應(yīng)用實(shí)例包括手持設(shè)備的氣壓計(jì)功能和硬盤驅(qū)動(dòng)器的“飛行高度”控制功能。隨著硬盤驅(qū)動(dòng)器小型化的趨勢(shì)和容量不斷地提升,讀寫頭與硬盤表面之間的距離容易因?yàn)闅鈮鹤兓艿接绊憽?br />
微機(jī)電聲學(xué)器件、或MEMS麥克風(fēng)可提高現(xiàn)有和新興應(yīng)用的音質(zhì)、可靠性以及成本效益,包括手機(jī)、筆記本電腦、攝像機(jī)、數(shù)碼相機(jī)以及助聽器或電子聽診器。將多個(gè)MEMS麥克風(fēng)組合成一個(gè)陣列可實(shí)現(xiàn)更多的功能,例如噪音抑制和方向拾音等。隨著人們?cè)谠胍艉艽蠛蜔o法控制的環(huán)境內(nèi)使用手機(jī)的頻率日漸增加,這個(gè)功能對(duì)于提高聲音清晰度有很大的幫助,同時(shí)可提高手機(jī)通話與會(huì)議的音質(zhì)。
根據(jù)美國市調(diào)機(jī)構(gòu)iSuppli調(diào)查,意法半導(dǎo)體是全球最大的消費(fèi)電子和手機(jī)MEMS供應(yīng)商,年收入超過2億美元。意法半導(dǎo)體擁有業(yè)界領(lǐng)先的8英寸晶圓生產(chǎn)線,以極高的加工精密度和大規(guī)模制造能力為特色,所制造的零組件公差極小,制造成本更具有相當(dāng)?shù)氖袌?chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。
身為MEMS技術(shù)發(fā)展的領(lǐng)航者,意法半導(dǎo)體開始在單一封裝內(nèi)整合多個(gè)傳感器,包括加速度計(jì)、陀螺儀、地磁計(jì)以及壓力傳感器,一體化解決方案可大幅提升各種應(yīng)用的功能和性能。iNEMO就是這種發(fā)展趨勢(shì)的實(shí)際案例。在這些多傳感器產(chǎn)品內(nèi),集成傳感器可實(shí)現(xiàn)自主和自動(dòng)系統(tǒng),監(jiān)測(cè)特定的條件,并根據(jù)監(jiān)測(cè)結(jié)果執(zhí)行相對(duì)應(yīng)的操作,使用者不需要或只需稍微的介入即可。此外,‘智能傳感器’結(jié)合MEMS器件與整合處理性能,能獨(dú)立運(yùn)作主要處理器之外的傳感器相關(guān)算法,有助于降低整體的系統(tǒng)功耗,對(duì)電池消耗極快的手持設(shè)備尤其重要。
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硅微加工技術(shù)還被用于開發(fā)各種的熱流微機(jī)電系統(tǒng)器件。意法半導(dǎo)體是熱噴墨打印機(jī)噴頭市場(chǎng)的長期供應(yīng)商,為主要的噴墨打印機(jī)制造商提供噴頭芯片。噴墨頭芯片內(nèi)含有數(shù)百個(gè)微型通道,這些墨水通道與相對(duì)應(yīng)的微型墨盒相連接。同一芯片上的加熱元件與控制電路將墨水蒸發(fā),把微小墨水氣泡噴射到打印紙上。
對(duì)意法半導(dǎo)體具有重要突破意義的實(shí)驗(yàn)室芯片(Lab-on-Chip),同樣也利用硅的電氣特性和熱特性,這個(gè)解決方案運(yùn)用低成本的一次性便攜式工具取代成本昂貴、耗時(shí)的固定實(shí)驗(yàn)室分析過程。意法半導(dǎo)體的In-Check產(chǎn)品平臺(tái)是業(yè)界第一個(gè)通過精確地控制熱量來強(qiáng)化DNA特性,以進(jìn)行微矩陣檢測(cè)的生物芯片(biochip)。由于硅擁有相當(dāng)好的熱特性并能夠在同一芯片上進(jìn)行電子溫度控制,實(shí)驗(yàn)室芯片(Lab-on-Chip)能夠?qū)NA芯片樣品進(jìn)行精確的加熱及冷卻處理,而DNA分析結(jié)果的精確度可與價(jià)值數(shù)百萬美元的實(shí)驗(yàn)室媲美。與傳統(tǒng)的診斷系統(tǒng)相比,由于體積迷你的MEMS耗電量少,只需要少量的試劑,因此更能節(jié)省成本。
意法半導(dǎo)體也成功地將微射流MEMS技術(shù)應(yīng)用在醫(yī)療保健領(lǐng)域,例如可以安裝在一次性敷貼內(nèi)的微型胰島素注射泵。意法半導(dǎo)體與Debiotech公司合作開發(fā)的胰島素注射泵能夠精確的模擬胰島腺分泌過程,向人體持續(xù)輸入胰島素,同時(shí)還能檢測(cè)注射泵可能發(fā)生的故障,為病患提供更深一層的保護(hù)。基于MEMS的Jewel注射泵采用大規(guī)模的半導(dǎo)體制造技術(shù),相比于現(xiàn)有的解決方案,成本讓病患更能接受,而可靠性和精確度更是其它方案無法比擬的。
意法半導(dǎo)體的MEMS壓力傳感器還是另一項(xiàng)創(chuàng)新應(yīng)用的核心技術(shù):能夠24小時(shí)檢測(cè)和觀察眼壓變化的智能隱形眼鏡。作為意法半導(dǎo)體與Sensimed的合作開發(fā)成果,這個(gè)獨(dú)一無二的輔助診斷工具有助于專家提早發(fā)現(xiàn)青光眼,更能通過同步治療的方法來配合病患的內(nèi)部生理時(shí)鐘,來最佳化治療效果。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)具有數(shù)十年完善的芯片制造制程技術(shù),而MEMS技術(shù)讓類似傳感器和致動(dòng)器等裝置運(yùn)用半導(dǎo)體技術(shù)生產(chǎn),以取得更高的可靠性和降低更多的成本。
2006年,意法半導(dǎo)體在意大利Agrate建立了一條MEMS器件專用200mm(8英寸)晶圓生產(chǎn)線,成為全球首家擁有MEMS專用生產(chǎn)線的大型半導(dǎo)體公司。目前,這條生產(chǎn)線的月產(chǎn)能為10,000片晶圓。意法半導(dǎo)體的積極策略大幅降低產(chǎn)品的單位成本,也加快現(xiàn)有的MEMS應(yīng)用和新MEMS市場(chǎng)的發(fā)展。
意法半導(dǎo)體在位于馬爾他Kirkop的先進(jìn)后端廠進(jìn)行MEMS器件的封裝和測(cè)試,日產(chǎn)能超過100萬顆MEMS芯片。整合一個(gè)微加工傳感器和一個(gè)邏輯裸片的復(fù)雜器件,需要嚴(yán)格且復(fù)雜的封裝解決方案,才能降低MEMS芯片在制程中受到機(jī)械振動(dòng)和環(huán)境因素的影響。
在前端制造技術(shù)和制程方面,意法半導(dǎo)體發(fā)現(xiàn)并解決了在各種應(yīng)用領(lǐng)域大規(guī)模推廣高成本效益的MEMS器件的關(guān)鍵問題。為了加快產(chǎn)品上市時(shí)間,實(shí)現(xiàn)規(guī)模經(jīng)濟(jì)效益,核心技術(shù)的標(biāo)準(zhǔn)化是非常重要的。作為MEMS技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化工作的市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者,意法半導(dǎo)體開發(fā)出了ThELMA(微陀螺儀和加速計(jì)芯片厚外延層)特殊微加工制程,這個(gè)0.8μm表面微加工制程可整合薄厚不一的多晶硅層,用于實(shí)現(xiàn)MEMS器件的結(jié)構(gòu)和互相連接性。意法半導(dǎo)體采用同樣的微加工技術(shù)來制造加速度計(jì)和陀螺儀,能在一顆芯片內(nèi)整合線性機(jī)械單元和角加速度機(jī)械單元,為客戶帶來極高的成本效益和更小的產(chǎn)品尺寸。
結(jié)合ThELMA制程,意法半導(dǎo)體的VENSENS制程(VENiceprocessforSENSors),可以通過在單晶硅內(nèi)整合空腔,制造具有優(yōu)異尺寸和性能表現(xiàn)的的超小型壓力傳感器,在更薄、更小的芯片上實(shí)現(xiàn)更高的設(shè)計(jì)穩(wěn)健度、熱穩(wěn)定性以及可靠性。