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國產(chǎn)MEMS壓力傳感器正在進(jìn)入高端應(yīng)用市場

發(fā)布時間:2011-06-13

機(jī)遇與挑戰(zhàn):
  • 國產(chǎn)MEMS壓力傳感器正在進(jìn)入高端應(yīng)用市場
  • 汽車電子、新型數(shù)字消費(fèi)電子和醫(yī)療電子對MEMS傳感器需求大

在軍事工程、化爆試驗(yàn)、石油勘采與試井、土木工程學(xué)、巖土力學(xué)、創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)、液壓動力機(jī)械試驗(yàn)等科學(xué)試驗(yàn)與現(xiàn)代化儀器儀表中,需要不失真地測量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動態(tài)壓力波形與幅值、有效值,要求所用壓力傳感器具有較高的固有頻率、極短的上升時間和寬廣優(yōu)良的響應(yīng)頻帶,以保證足夠的動態(tài)測壓精度。

隨著測量技術(shù)的飛速發(fā)展,對傳感器提出了更高的要求,尤其在高精度的流體動力學(xué)測試中,要求傳感器具有良好的動態(tài)特性。為了不影響流場狀態(tài),提高測量的精度,還需壓力傳感器具有極小和極薄的外形,一般來講,外徑約為2 mm~8mm,或厚度2 mm~5mm,傳感器的尺寸漸趨小型化。近二十年來,壓力傳感器行業(yè)明顯加快了壓阻式替代淘汰應(yīng)變式、厚膜陶瓷式壓力傳感器的步伐,MEMS技術(shù)逐步成為產(chǎn)業(yè)化技術(shù)主流。

受自身技術(shù)條件限制, 國內(nèi)大多數(shù)壓力傳感器企業(yè)多把國內(nèi)外產(chǎn)硅MEMS OEM產(chǎn)品作為壓力傳感器的關(guān)鍵部件,組裝后再行銷售,進(jìn)入行業(yè)的門檻較低,資金運(yùn)轉(zhuǎn)快。但對有高難度要求的高檔傳感器,企業(yè)既買不到相應(yīng)的硅MEMS OEM產(chǎn)品,又不具備相應(yīng)設(shè)計(jì)與特殊制作技術(shù),因此基本無法進(jìn)入這一細(xì)分市場。昆山雙橋傳感器測控技術(shù)有限公司充分利用其技術(shù)積累,從核心元件關(guān)鍵技術(shù)做起,基于MEMS微機(jī)械加工技術(shù),自行研制的微型動態(tài)壓阻壓力傳感器能確保力敏硅膜片有效尺寸更小,固有頻率更高;此外,利用硅優(yōu)良的彈性力學(xué)特性,尤其是極高的楊氏彈性模量,加之低的電橋內(nèi)阻抗,不僅利于獲得高頻響,而且有低至亞微秒的上升時間及非常干凈的幅頻特性曲線,可廣泛應(yīng)用于要求傳感器尺寸小、對測試流場影響小、動態(tài)特性好的空氣動力學(xué)研究、風(fēng)洞測控試驗(yàn)等高端應(yīng)用領(lǐng)域。微型壓力傳感器產(chǎn)品在雙橋傳感器公司已形成系列化,主要產(chǎn)品有Ф2mm、Ф3mm、Ф5mm、Ф8mm,涵蓋了對水、氣、油等多種介質(zhì)的測量。產(chǎn)品完全為公司自主設(shè)計(jì)和開發(fā),具有獨(dú)立的自主知識產(chǎn)權(quán),表明國內(nèi)企業(yè)在開發(fā)高、特、難、新壓力傳感器方面已經(jīng)具有很強(qiáng)的技術(shù)實(shí)力。
   
汽車電子、新型數(shù)字消費(fèi)電子和醫(yī)療電子等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,對MEMS傳感器的各種新需求和基于該技術(shù)的創(chuàng)新不斷涌現(xiàn),MEMS傳感器的市場機(jī)會逐步顯現(xiàn)。此前昆山雙橋傳感器測控技術(shù)有限公司的基于MEMS技術(shù)的汽車壓力傳感器早已批量應(yīng)用于汽車電子產(chǎn)業(yè)。另據(jù)該公司透露,未來的2年~3年,通用壓力傳感器的智能化生產(chǎn)技術(shù)將成為產(chǎn)業(yè)的熱點(diǎn)和焦點(diǎn),為此,他們著重針對汽車壓力傳感器和特種傳感器市場,制定了相應(yīng)的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展策略,為客戶專制開發(fā),在商業(yè)模式上采取藍(lán)海戰(zhàn)略,以高技術(shù)保證公司在細(xì)分市場上的成功。從昆山雙橋的行動上可以看出,國產(chǎn)MEMS壓力傳感器產(chǎn)品正在向汽車電子及一些高端應(yīng)用等市場滲透。

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